半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為現(xiàn)代科技的心臟，其每一步發(fā)展都離不開精密的材料與嚴(yán)苛的工藝。而在這一領(lǐng)域中，砷烷、磷烷是半導(dǎo)體、 LED、光伏、航天和國(guó)防事業(yè)的關(guān)鍵原材料。而砷烷屬于易燃易爆劇毒氣體，爆炸極限為4.5%~100%VOL，泄漏積聚到空氣中的砷烷氣體濃度處于此范圍內(nèi)時(shí)，遇明火、電弧、火花、高溫等就會(huì)發(fā)生爆炸。

今天跟隨可迪爾一起揭秘砷磷烷吸附塔是如何高效治理半導(dǎo)體生產(chǎn)中的特殊氣體的！

砷磷烷吸附塔項(xiàng)目背景

在廈門有一家專業(yè)從事高端LED芯片、先進(jìn)化合物半導(dǎo)體器件及第三代半導(dǎo)體芯片的高新技術(shù)企業(yè)，生產(chǎn)過程中使用磷烷和砷烷做為關(guān)鍵材料。在制造過程中，砷烷、磷烷常被用作重要的摻雜氣體，如何安全使用這些特殊氣體，防止泄漏對(duì)環(huán)境和人員造成傷害，成為了業(yè)主必須解決的難題。

砷磷烷吸附塔項(xiàng)目案例

針對(duì)業(yè)主事故排的安全需求，我公司技術(shù)人員去現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行了實(shí)地考察，最終采用砷磷烷吸附塔進(jìn)行處理，系統(tǒng)與房間偵測(cè)器聯(lián)動(dòng)，砷烷、磷烷發(fā)生泄漏時(shí)自動(dòng)開啟事故排風(fēng)模式，經(jīng)砷磷烷吸附塔有效處理后達(dá)標(biāo)排放，砷磷烷吸附塔的吸附效率大于90%，氣體排放濃度≤1mg/m3，符合上海市《大氣污染綜合排放標(biāo)準(zhǔn)（征求意見稿）》（DB31/933-2023）。

什么是砷磷烷吸附塔？

砷磷烷吸附塔是專門針對(duì)半導(dǎo)體摻雜制程工序中產(chǎn)生的砷烷、磷烷、四氟化碳等有毒廢氣設(shè)計(jì)的治理設(shè)備。該設(shè)備利用化學(xué)反應(yīng)、復(fù)分解反應(yīng)等基本原理，與廢氣中的有害物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成無毒無害的化合物或復(fù)合物。這些化合物或復(fù)合物還可直接用于修路、垃圾填埋等，實(shí)現(xiàn)了廢氣的資源化利用，避免了二次污染。

每一次項(xiàng)目的成功實(shí)施，都是對(duì)可迪爾技術(shù)的挑戰(zhàn)。未來，可迪爾將繼續(xù)攜手更多合作伙伴，共同探索綠色發(fā)展的新路徑，為構(gòu)建更加安全、可持續(xù)的科技生態(tài)貢獻(xiàn)企業(yè)力量。